Proposed Combining Process Technique by Summing the Topographical Height Image and the Deflection Image with a Weight Function at Different Scanning Speeds
الكلمات المفتاحية:
AFM، height image، scanning speed، deflection image، image restorationالملخص
يتضمن مبدأ مجهر القوة الذرية (جهاز يستخدم في مجال تقنية النانو) مسح جسم ما باستخدام طرف مجس مركب على الطرف الحر من ناتئ ميكانيكي دقيق. أثناء فحص العينة أفقيًا، ينحرف ناتئ. يمكن استشعار انحراف الكابول من خلال عدة طرق. على سبيل المثال، انحراف الحزمة الضوئية حيث يتم استخدام هذه الطريقة غالبًا بسبب بساطتها. أثناء عملية المسح لمرحلة العينة، تتم مقارنة الانحراف المكتشف مع انحراف نقطة التحديد. بعد ذلك، يتم تقليل إشارة الخطأ التي تمثل الفرق بين انحراف النقطة المحددة والمكتشفة عن طريق تحريك مرحلة العينة في الاتجاه Z. عند قيمة نقطة محددة، يمكن لعملية التغذية الراجعة المغلقة هذه أن تحافظ على انحراف ناتئ وبالتالي قوة التفاعل بين الطرف والعينة. يتم تتبع سطح العينة تقريبًا بواسطة الحركة الناتجة ثلاثية الأبعاد لمرحلة العينة. لذلك، يمكن عادةً تشكيل الصورة الطبوغرافية من الإشارات الكهربائية التي تُستخدم لدفع ماسحة مرحلة العينة في الاتجاه Z-. في هذه الورقة، يتم إنشاء الصورة الطبوغرافية باستخدام القيم التي تم الحصول عليها عن طريق جمع صورة الارتفاع المستخدمة لقيادة الماسح الضوئي Z- وصورة الانحراف بدالة وزن قريبة من 3. وقد تم تحديد القيمة تجريبيًا باستخدام المحاولة والخطأ. تعطي هذه الطريقة صورة طبوغرافية أكثر دقة.
